SPC制定控制图控制界限时，数据的滞后性如何解决

多春鱼 · 发表于 2011-10-23 21:32:40

SPC技术必须先收集一定时问段的数据，才能确定相应的控制界限。这个往往是滞后的控制。比如我们需要对光刻的栅极关键尺寸大小进行控制．以传统的sPc的做法要先收集至少30个批次的硅片样品的关键尺寸火小，计算样本的标准差，然后以三倍的标准差为控制界限作图，以此判断工艺过程是否稳定。但随着硅片批次的增加，可参与计算的样本造成了控制界限的变化，那么就会有一个很尴尬的现象出现，就是以原先控制界限作为判断标准，整个工艺参数是处于稳定状态，所以相关人员不会对此进行特别处理；但是以新的控制界限来看，已经超出稳定状态，请问该如何处理呢
请问这种情况该如何处理呢？恳请各位大侠帮忙，谢谢！

大男人 · 发表于 2011-10-23 21:33:13

我觉得出现这种尴尬局面的原因是你把分析段和控制段混淆了。
你第一次收集30批数据做控制图，这是用于分析过程是否稳定用的。
当你收集30个批次的数据做完控制图得出控制界限，并且根据判定规则判定过程稳定无异常之后，这30批得出的控制界限就可以直接延伸作为后续的控制界限了。
在控制图的现场控制使用阶段，现场收集的数据不再用于计算控制限，所以也就不会存在你所说的控制限随着数据增多而变化的情况了。除非你的过程发生了新变化，否则你在分析段得出的控制限都是不需要改变的。

梦水牛郎 · 发表于 2011-10-23 21:33:45

非常赞同，说的很清楚了，控制图本身有两种，分析用和控制用，是应该很好的区分。

多春鱼 · 发表于 2011-10-23 21:34:17

首先非常感谢您悉心的回答，但是我用Wonderware公司的QI软件的时候控制线就时刻在变化。而在一些文章中也提到过，例如：采集到m个子组的数据，是利用m-1个子组的数据来计算控制线，然后来判断第m个子组的稳定性以及是否受控。按这种方式制定的控制图，控制界限就是变化的，而过程能力指数CPK也同样在变化中。

大男人 · 发表于 2011-10-23 21:34:50

呵呵，你这个软件我没用过，不知道是什么原因。
不过在minitab这个软件里分析段和控制段的区别就在于：分析段是不需要指定标准差和均值的，控制限随着数据增减而变化；控制段是有指定标准差和均值的，控制限是固定的。当然，如果每次抽样数量是变化的，控制限会随着抽样数量变化，但变化的不是整条线，而是当天的线。这两种设置方法得出的结果是不一样的。你查查看，你的软件里有没有这样的设置。
你说的第二种方我也没看到过，不是很清楚使用的前提和判定规则。
但既然是使用的m-1计算值来判定m，前面的m-1个数据是否还需要去判定呢？
前面的数据出现异常点也好理解：当你的过程逐步改善，标准差变小的情况下，新控制区间会变窄，以往的判断为正常的数据以现在的水平去衡量当然属于异常了，这样的情况应该说明过程是趋好的吧。
同样用这种方法，原本判定为异常，但是随着时间推移，从图上看异常变正常了，那才可怕。

多春鱼 · 发表于 2011-10-23 21:35:21

谢谢您细致的回答，呵呵，希望有机会再多多交流

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