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一般硅片的制造(wafer process)过程的主要控制点有哪些

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发表于 2011-10-26 19:08:20 | 只看该作者回帖奖励

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一般硅片的制造(wafer process)过程包含哪些主要部分？主要控制点有哪些？求解答。

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楼主| 发表于 2011-10-26 19:08:26 | 只看该作者

我知道问得比较笼统，关键是控制点。

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